窄脉冲激光雷达晶圆测试机
所属分类：
普赛斯高功率VCSEL测试机用于垂直腔面发射类型激光器芯片的Wafer测试，支持100ns级脉宽最大30A电流的LIV、光谱、近场、远场相关参数的测试，视觉自动识别，全自动完成每一颗芯片的测试；支持Chuck设置25~85℃温度测试。标配6inch Wafer测试，兼容2、4inch晶圆及破片测试，向用户开放测量数据库，用于后续筛分工序。
- 应用
- 特点
- 规格
- 下载
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产品应用
• 3D传感、激光雷达、大功率激光等应用的VCSEL芯片测试
• 大功率面发射芯片的验证测试 -
产品特点
• 集成自制超窄脉冲 SMU、最小脉冲到 100ns，最大电流 30A
• 积分球同步收光，支持短脉冲 LIV 测试和光谱测试
• 开发探针，电感系数小，支持窄脉冲大电流(最小脉冲100ns,最大电流30A)测试，双探针四线法测试，探针压力可调；探针电动滑台控制，实现可寻址测试和多通道测试
• 支持晶圆位置识别和自动调整
• 测试载台采用高导热材料，TEC温控，温度范围可支持25~85°C
• 支持快速光谱测试
• 支持NF均匀性与坏点检测及M2因子，束腰
• 支持FF测试发散角测试
• 软件支持精确定位图、坐标数据生成，数据库自动存储数据及图片
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参 数
指 标
适合Wafer尺寸
2寸、4寸和6寸
芯片加电方式
支持同面和异面类型的VCSEL加电
脉冲电流输出
范围0-30A，精度0.5%rdg±250mA，最小脉宽100ns，Duty cycle:大于等于1A电流为<0.1%, 小于1A电流为<50%
电压测量
范围0-40V，精度0.5%rdg±250mV
功率测试
采用积分球收光，范围0-200W，精度0.5% FS±10mW
波长范围
400-1100 nm，其他波长支持定制
输出特性曲线
(1)LIV特性曲线 (2) 光谱曲线
LIV测试参数
Ith，V，Ir，SE，Rs，P，PCE，Wavelength，FWHM等
近场测试参数
发光孔数，暗坏点、一致性，另可定制M2、孔发散角、束腰测试功能
远场测试参数
发散角(1/e²，D86,D50)、DIP
光谱参数
λｐ 峰值波長
可寻址功能
探针电动滑台控制，实现可寻址测试。
激光测距
激光测距用于对Chuck和晶圆进行测高找平，精度≤1um。
测试台温控范围
25～85℃，稳定性<±1℃
设备尺寸
不含信号灯及显示器，1250mm(深)×1100mm(宽)×1750mm(高)
气源要求
正压：无
负压：≦-80KPa
电源
AC 220V/16A 50Hz
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