850nm光通晶圆测试机
所属分类：
普赛斯光通信VCSEL测试机用于面发射类型VCSEL的Wafer测试，支持芯片的LIV、光谱相关参数的测试，视觉自动识别，全自动完成每一颗芯片的测试；支持常温、高温双温测试，高温测试温度可由用户自定。兼容多种不同尺寸的Wafer，向用户开放测量数据库，用于后续筛分工序。
- 应用
- 特点
- 规格
- 下载
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产品应用
• 光通信等应用的VCSEL芯片测试
• 小功率面发射芯片的验证测试 -
产品特点
• 集成自制LIV综合测试仪，小电流挡位精度高，支持LIV测试
• 积分球同步收光，支持 LIV 测试和光谱测试
• 探针臂，针压可调，最小调到1g，压力稳定性在±0.1g以内，探针安装带限位功能
• 支持晶圆位置识别和自动调整
• 测试载台采用高导热材料，TEC温控，温度范围可支持25~85°C
• 支持快速光谱测试• 软件支持精确定位图、坐标数据生成，数据库自动存储数据及图片
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参 数
指 标
适合Wafer尺寸
2寸、4寸和6寸
芯片加电方式
支持同面和异面类型的VCSEL加电
电流范围
范围0-500mA
电流输出和测量精度
0~20mA：0.1%FS±0.1mA
0~100mA：0.1%FS±0.1mA
0~250mA：0.1%FS±0.25mA
0~500mA：0.1%FS±0.5mA
电流加电方式
支持连续电流扫描，和脉冲加电：脉宽200us~650ms，周期2ms~6s，同步输出触发信号
前光功率
范围0-500mW，精度0.1%FS±50uW
正向电压
范围0-5V，精度0.5%±50mV
波长范围
800-1700 nm，其他波长支持定制
测试台温控范围
25～85℃，稳定性<±1℃
设备尺寸
不含信号灯及显示器，1250mm(深)×1100mm(宽)×1750mm(高)
气源要求
正压：无
负压：≦-80KPa
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