泰兴激光雷达VCSEL晶圆测试
普赛斯高功率VCSEL测试机用于垂直腔面发射类型激光器芯片的Wafer测试，支持100ns级脉宽最大30A电流的LIV、光谱、近场、远场相关参数的测试，视觉自动识别，全自动完成每一颗芯片的测试；支持Chuck设置25~85℃温度测试。标配6inch Wafer测试，兼容2、4inch晶圆及破片测试，向用户开放测量数据库，用于后续筛分工序。
类别：
泰兴晶圆测试
产品描述
应用
1、3D传感、激光雷达、大功率激光等应用的VCSEL芯片测试；
2、大功率面发射芯片的验证测试；
特点
1、集成自制超窄脉冲 SMU、最小脉冲到 100ns，最大电流 30A；
2、积分球同步收光，支持短脉冲 LIV 测试和光谱测试
自制开发的探针，电感系数小，支持窄脉冲大电流(最小脉冲100ns,最大电流30A)测试，双探针四线法测试，探针压力可调；探针电动滑台控制，实现可寻址测试和多通道测试
3、支持晶圆位置识别和自动调整；
4、测试载台采用高导热材料，TEC温控，温度范围可支持25~85°C；
5、支持快速光谱测试；
6、支持NF均匀性与坏点检测及M2因子，束腰；
7、支持FF测试发散角测试；
8、软件支持精确定位图、坐标数据生成，数据库自动存储数据及图片
规格
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