双温载台（单针）芯片测试机
所属分类：
本设备应用于可见光CHIP常温PIV测试、光谱测试并对不同测试结果进行归类分档筛选。芯片蓝膜上料，自动寻料、识别定位，通过蓝膜顶针剥离芯片、吸嘴吸取、机械手完成搬运，视觉识别并校准位置、自动加电收集发光参数、测试PIV/光谱、分析筛选、机械手搬运分档到不同蓝膜档位。 此设备具有高速、高精度特点，实现了复杂时序、严密逻辑的工艺过程。设备采用了直线电机、高精度模组运动、凸轮等机构，配合多轴运动、视觉定位、ORC识别等技术，具有批量生产能力。
- 应用
- 特点
- 规格
- 下载
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产品应用
• 设备用于可见光裸chip自动测试分bin，可以实现常温、高温条件下边发射芯片的光谱、LIV参数测试
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产品特点
• 支持Chip的LIV、光谱相关参数的测试、绘制测试曲线
• 芯片蓝膜自动上料，通过视觉系统自动识别芯片ID,测试台支持芯片在相机下自动二次定位，精准控制探针加电测试
• 探针自动下压加电，探针下压力度可调，支持探针力度实时显示
• 下料配置8个蓝膜盘、4个2寸GelPak盒
• 拾取搬运机构（上料吸嘴、下料吸嘴组成，搬运轴采用高精度直线电机控制），稳定性好，运动精度高
• 可实现小功率测试和大功率测试：小功率测试系统（风冷+TEC控温；1寸积分球收光，测PIV、光谱），（预留）大功率测试系统（水冷+TEC控温；3寸积分球收光，测PIV、光谱）
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参 数
指 标
适合芯片尺寸
腔长L x 宽W : 200-2000 μm x 120-300 μm
其他尺寸可定制测试载台
仪表型号
吉时利（Keithley）2601B-PULSE
测量参数
LIV曲线，Ith，Po，Vf，Im，Rs，SE，Kink等
LD驱动电流
小功率芯片范围0 ~ 300mA，精度0.1%FS±0.5mA
大功率芯片范围0 ~ 5A，精度0.1%FS±5mA
电流模式
CW/Pulse
P-I-V
Pulse 0.1ms (ON) Duty1%
正向电压测试
小功率芯片范围0 ~ 15.0V，精度0.1% FS±50mV
大功率芯片范围0 ~ 10.0V，精度0.1% FS±50mV
反向电流测试
0 ~ 100nA，精度1% FS±1.0nA，@<50%RH
0 ~ 1uA，精度0.1% FS±10nA，@<50%RH
0 ~ 10uA，精度0.1% FS±0.1uA，@<50%RH
0 ~ 100uA，精度0.1% FS±1uA，@<50%RH
0 ~ 1mA，精度0.1% FS±10uA，@<50%RH
反向电压测试
范围0 ~ 30.0V，精度0.1% FS±0.3V
光功率测试
小功率芯片测试范围0-300mW；精度0.1% FS±50uW；波长范围380-700nm
大功率芯片测试范围0-10W；精度0.1% FS±10mW；波长范围380-700nm
温度控制
常温:20~85℃；稳定性≤ ±0.5℃
设备尺寸
最大展开尺寸：2050mm×1800mm×2090mm(L×W×H)
气源要求
正压：>0.6MPa 负压：<-80KPa
电源
AC 220V/8A 50Hz
关键词：