直流脉冲二合一晶圆测试机
所属分类：
普赛斯高功率VCSEL测试机用于面发射类型VCSEL的Wafer测试，支持芯片的LIV、光谱、近场、远场相关参数的测试，视觉自动识别，全自动完成每一颗芯片的测试；支持常温、高温双温测试，高温测试温度可由用户自定。兼容多种不同尺寸的Wafer，向用户开放测量数据库，用于后续筛分工序。
- 应用
- 特点
- 规格
- 下载
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产品应用
• 典型的人脸识别、车载雷达等应用的VCSEL 芯片测试
• 高功率面发射芯片的验证测试
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产品特点
• 集成自制超窄脉冲 SMU、最小脉冲到 1us，最大电流 30A
• 积分球同步收光，支持短脉冲 LIV 测试和光谱测试
• 支持晶圆位置识别和自动调整
• 测试载台采用高导热材料，TEC温控，温度范围可支持15~100°C
• 支持四线制电压测试，排除环境线损对芯片电压测试结果的影响
• 支持快速光谱测试
• 支持NF均匀性与坏点检测
• 支持FF测试发散角测试
• 软件支持精确定位图、坐标数据生成，数据库自动存储数据及图片
• 开发低感高电流探针，支持窄脉冲大电流测试
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参 数
指 标
测试类型
支持同面和异面设计的VCSEL
LIV主要参数
Ith 、P、Vf、Rs、SE、PCE，光谱参数等
脉冲加电
范围0-30A
直流加电
范围0-3A
电压测量
范围0-10V
近场测试
支持
远场测试
支持
温度控制
15～100℃
波长范围
支持定制
电源
AC 220V 50Hz
关键词：