选配发散角测试
所属分类:
普赛斯高功率BAR条自动测试机支持大电流、ns级窄脉冲条件测试,全自动测试BAR条LIV曲线,光谱,远场参数。全自动上下料,支持多种规格料盒上料,支持多种规格料盒或蓝膜下料。支持可变温度测试,温度可由用户自定。向用户开放测量数据库,用于后续筛分工序。
- 应用
- 特点
- 规格
- 下载
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产品应用
• 设备用于Lidar应用激光器芯片、工业级高功率激光器,医疗与显示等高功率激光器芯片领域
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产品特点
• 支持多种主流规格料盒,全自动上下料,避免转料或人工操作对巴条chip造成的报废
• 支持BAR条自动上料、首颗chip识别定位,支持ID识别、自动测试、自动判断BAR条测试结束、自动下料
• 吸嘴、探针与BAR条接触压力可调
• 自制4探针结构,支持四线制电压测试,电流加电回路低电感设计,支持ns级窄脉冲输出,2个针P极,2个针N极;探针结构支持探针下压力可控调节、支持压力检测• 集成自主开发的大电流30A、窄脉冲100ns测试仪表,支持BAR条LIV、光谱、远场测试
• 典型LIV测试曲线
• 支持MAP图绘制,方便用户对wafer的性能分布情况分析
• 支持NG Chip打点标记,支持简单的芯片外观检查
• 支持常温、高温测试
• 多维度可调测量结构,满足用户对不同规格巴条测量需求 -
参 数
指 标
适用巴条尺寸
长度:15~30mm
宽度:1~3mm,其他BAR条宽度可定制测试台
脉冲电流输出
范围0~30A,精度0.5%rdg±200mA
脉冲特性
最小脉宽:100ns,最大占空比:0.1%
脉冲电压测量
范围0~40V,精度0.5%rdg±200mV
四线制,峰值检测
脉冲电流测量
范围0~30A,精度0.5%rdg±200mA,峰值检测
光功率测量
等效光电流检测量程和精度:
范围0~5mA,0.5%rdg±25uA,峰值检测
基础配置支持100W输入光功率,不同功率范围可配置不同的衰减片,支持定制
远场发散角测试
范围±45°
测试效率
(典型值)[1]
单颗chip单温度测试时间: LIV+光谱(1个电流点)+ID识别+机械运动总时间<9s(不包含上下料运动时间)
波长范围
默认PD:800-1700 nm,短波长可选配400-1100的PD
高温台温控范围
室温+15~85℃,精度<±1℃
工作台温度串扰
高温台@85℃,常温台相对室温不高于3℃
常温台温控范围
25~50℃,精度±1℃
设备尺寸
含信号灯及显示器,1250mm×1070mm×1900mm(L×W×H)
气源要求
正压:不低于0.4MPa
负压:如有,不高于-80KPa
关键词: